Maschinenverkleidung für Waferproduktionsanlage der Halbleiterfertigung

Waferproduktionsanlage für die Halbleiterfertigung

Diese hochpräzise Anlage kombiniert robustes Edelstahl-Industriedesign mit exzellenter Verarbeitung, ideal für Reinraumanwendungen in der Halbleiterproduktion.

Branchen

Hightech im Reinraum.

Die Niro-Rahmenstruktur, verschweißt und geschliffen, dient der Aufnahme der statischen und dynamischen Prozesskräfte sowie der Roboterbewegungen. Der große Edelstahl-Formrohrrahmen sorgt für Stabilität und ist speziell für Reinraumanwendungen ausgelegt. Die Stecktüren aus hochglanzpoliertem Spiegelblech fügen sich nahtlos in das Gesamtdesign ein und erleichtern die Wartung.

Türen, Verkleidung und Innenwannen sind aus hochpoliertem Spiegelblech gefertigt, während innenliegende Konsolen für die Aufnahme eines Handlingroboters sorgen. Der genaue Tragrahmen ermöglicht eine präzise Roboter-Laufbahn. Rundrohre wurden für die Führung der diversen Prozessmedien integriert.

Die Verschlussart erfolgt über Drehriegel, und das gesamte Gehäuse ist formiergasgeschweißt, um höchste Stabilität und Dichtheit zu gewährleisten. Leicht und schnell öffnende Klappen am Dach und an allen Seiten erleichtern Montage und Service. Die Materialien bestehen aus geschliffenem Edelstahl und hochglanzpoliertem Spiegelblech, was für eine lange Lebensdauer und makelloses Aussehen sorgt.

Gehäuse­features

Integrierte Schaltschranktechnik

Schinko baut schon lange keine Schalt­schränke mehr. Und irgendwie doch, denn jede Maschine braucht eine Schalt­zentrale. Die Schaltschranktechnik inte­grieren wir direkt ins Gehäuse, z. B. fungiert die Außenwand des Gehäuses auch als Außenwand des Schaltschranks. Optisch ist der Schaltschrank nicht als solcher erkennbar, was dem Erschei­nungsbild der Maschine zuträglich ist. Der Schaltschrank wird zum integralen Bauteil, der auch eine tragende Funktion übernimmt. Denn als statisches Element gibt er dem Gehäuse Stabilität. Zusätz­liche Traversen werden überflüssig, und unterm Strich reduziert das die Kosten. Außerdem kann die Schaltzentrale so in Form und Detail individuell an das Gehäuse und die Maschine angepasst werden. Aus Hülle und Schaltschrank wird ein Gehäusesystem mit Hirn, das auch das Mensch-Maschine-Interface (HMI) vollständig aufnimmt.

Zugangssituationen

Zugänglichkeit hat nicht immer etwas mit Sympathie zu tun. Bei Gehäusesystemen kommt es vielmehr auf Öffnungsdimensionen, Türsysteme und Klappenpositionen an. Das, was im Inneren verarbeitet wird, muss schließ­lich hinein- und wieder herauskommen. Optimierte Zugangssituationen sind also entscheidend für Praktikabilität, Produk­tivität, Sicherheit und Ergonomie einer Maschine. In Konzept, Design und Umset­zung steckt somit eine Menge Know-how. Je nachdem, wie groß das zu manipulie­rende Objekt ist, müssen Türen und Klap­pen anwendungskonform ausgelegt sein. Ist die Zugangssituation entsprechend durchdacht, ist der Greifraum auf der Zugangsebene auch ohne übermäßiges Vorbeugen leicht erreichbar. Die Bedie­ner:innen sollen die Maschinen möglichst einfach und gesund be- und entladen können - beim Handling großer Bauteile hilft daher oft die Technik mit.

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