Hightech im Reinraum.
Niro-Rahmenstruktur, verschweißt und geschliffen für die Aufnahme der statischen und dynamischen Prozesskräfte und Roboterbewegungen. Türen, Verkleidung und Innenwannen aus hochpoliertem Spiegelblech. Innenliegende Konsolen für die Aufnahme eines Handlingroboters.
Eingefügte Rundrohre für die Führung der diversen Prozessmedien. Leicht und schnell öffnende Klappen am Dach und an allen Seiten für Montage und Service.
Besonderheiten
Waferproduktionsanlage
Abmessungen
4800 x 1220 x 2450 mm
Materialien
Edelstahl geschliffen; Spiegelblech hochglanzpoliert
Verarbeitung
Formrohrrahmen mit Stecktüren; formiergasgeschweißt
Verschlussart
Drehriegel
Ausführung
Großer Edelstahl-Formrohrrahmen für Reinraumanwendung; Stecktüren aus Spiegelblech; genauer Tragrahmen für Roboter-Laufbahn