Ohne Chips geht nix
Autos, TV oder Kühlschränke – heute ist so gut wie alles „smart“ und die KI auf dem Vormarsch. Boom-Branchen, die durch die Digitalisierung rasant wachsen, kommen ohne Halbleiter nicht aus. Die zukunftsgetriebenen Wachstumsmärkte befeuern den Bedarf an Semiconductors und damit auch den Bedarf an Maschinen, die Halbleiterprodukte herstellen. Die Krux an der Sache für die Maschinenbauer:innen: Halbleiterprodukte erfordern maximale Reinigbarkeit und Sauberkeit. Und das bringt in der Konstruktion und der Fertigung Herausforderungen mit sich – auch für uns noch, nach fast 30 Jahren, in denen wir bereits in die Halbleiterindustrie liefern.
„Sauberkeit und Partikelfreiheit ist ja schlussendlich für den Betrieb der Maschine das A und O.“
Die Schinko-Null-Partikeltoleranz
Konstruktiv muss der finale Reinigungsprozess von Beginn an detailliert mitgedacht werden und auch der Reinigungsprozess in den Zwischenschritten – das heißt in unseren Schinko-Fertigungsschritten des Gehäuses darf nirgends auch nur das kleinste Fuzerl Schmutz eingeschlossen werden. Sauberkeit und Partikelfreiheit ist ja schlussendlich für den Betrieb der Maschine das A und O. Wie wichtig, erklärt ein wesentliches Detail: An den Semiconductor-Maschinen sind massive Filter angebracht, die ohnehin schon sehr saubere Reinraumluft ansaugen und sie dann noch einmal filtern. Diese superreine Luft wird durch die Maschine gedrückt, verdrängt superkleine Partikel und verfrachtet sie im Maschineninneren nach unten. Was das mit uns zu tun hat? Unsere Entwickler:innen und Konstrukteur:innen müssen das Gehäusesystem so auslegen, dass keine Hohlräume oder Kanten diesen Luftstrom stören oder Verwirbelungen verursachen, denn sonst sind alle Bemühungen umsonst.
Faible für Produktfamilien und Qualität
Da wir ein besonderes Faible für Produktfamilien, Cluster und Segmentierung haben, tun wir uns von Natur aus leichter, den hohen Ansprüchen an die Standardisierung gerecht zu werden. Im Halbleitersegment ist vieles standardisiert und darauf müssen wir die Maschinen abstimmen sowie Gemeinsamkeiten finden, um maximal effizient zu sein. Nach fast 30 Jahren haben wir verinnerlicht, was es heißt, ein Teil der Chip- und KI-Branche zu sein und entwickeln uns permanent weiter. Und ganz nebenbei verbessern wir durch die Erfüllung der Anforderungen der Halbleiterindustrie, generell die Qualität unserer Prozessschritte. Schön, dass wir mit unserem Schinko-Reinheitsgebot eine solch anspruchsvolle Industrie mitten ins Herz des Mühlviertels bringen konnten und heute internationale Kund:innen bis nach Asien beliefern können.
„Die Krux an der Sache für die Maschinenbauer:innen: Halbleiterprodukte erfordern maximale Reinigbarkeit und Sauberkeit.”
Maschinenbau anders denken
Schon beim Design, in der Entwicklung und der Konstruktion von Gehäuse- oder Verkleidungssystemen für die Halbleiterindustrie müssen unsere Entwickler:innen Maschinenbau anders denken. Der Unterschied zum „gewöhnlichen“ Maschinenbau liegt im Detail. Die ganz speziellen Anforderungen der Branche unterliegen den SEMI®-Richtlinien – weltweit und allgemein anerkannte Sicherheitsstandards in der Halbleiterindustrie – und die sind eine äußerst kostspielige Angelegenheit. Ist beispielsweise erst einmal eine Komponente, wie z.B. ein Griff oder ein Scharnier gefunden, die der Norm entspricht, kann meist nur dieser bestimmte Typ verwendet werden, um regelkonform zu bleiben. Angesichts der fehlenden Diversifizierungsmöglichkeit hinsichtlich der Lieferant:innen ist das alles andere als sicher, man denke nur an die Lieferkettenprobleme der letzten Jahre. Im Entwicklungsstadium setzen wir daher bei so manchem Detail auf SEMI®-Richtlinien-konforme Eigenentwicklungen, um herstellerunabhängig zu sein.
Supersauber und supersorgsam
Um partikelfrei reinigen zu können, müssen die Oberflächen der Bauteile sehr sauber und frei von Kratzern sein. Gar nicht so einfach, in einer Produktionshalle sicherzustellen, beispielsweise Spiegelblech von der Anlieferung bis zur Montage frei von Kratzen durch alle Fertigungsschritte zu bringen. Sorgsames, beinahe behutsames Handling versteht sich von selbst – das machen wir schließlich bei all unseren Maschinensystemen. Aber für die Halbleiterindustrie werden verstärkt Vorkehrungen getroffen, damit wir den Anforderungen gerecht werden: geeignete Schutzverpackung, spezielle Beilagen, so kommt das Material stets geschützt von Station zu Station und zweilagig verpackt zu unseren Kund:innen. Zusätzlich sorgen wir im Reinraum (Reinraum entspricht der Reinraumklasse 7; die Schleuse der Klasse 8) dafür, dass die Bauteile unter optimalen Bedingungen montiert und verpackt werden, nachdem sie „laminar“ gereinigt wurden. Bei der laminaren Reinigung werden Flächen nach einem geometrischen Raster gereinigt – stets von oben nach unten (wegen der Mikropartikel, die so wiederum nach unten verfrachtet werden). Kreisrund wischen wäre ein Desaster, das würde etwaige Partikel auf der Oberfläche nur verteilen. Indem wir nicht nur die schinko-schöne Hülle fertigen, sondern Systembau darüber hinaus betreiben – sprich Komponenten integrieren, findet das Assembling von Eigenbauteilen sowie von Zukaufteilen mit uns als Partner vereinigt an einem Ort statt. Dadurch können wir einen geschlossenen Reinigungsprozess in der Fertigung des Gehäusesystems garantieren. Das ist der Reinheitsqualität immens zuträglich, weil es unseren Kund:innen nachgelagerte Montage- und damit verbundene Reinigungsschritte erspart.
